应用机械工程学报

抽象的

各向同性CuNb薄膜-基底系统中位错环引起的应力场

吴伟、钱刚和崔晓

基于线性叠加规则和快速离散傅里叶变换，提出了一种计算各向同性薄膜-基底系统中位错环引起的弹性场的半解析解。将薄膜-基底系统的弹性场问题分解为两个子问题：无限空间中位错环引起的体应力，以及薄膜-基底系统自由表面和界面引起的校正应力。将校正弹性场线性叠加到体弹性场上，在完美结合的薄膜-基底系统界面上产生连续的位移和牵引应力。首先，对Cu-Nb薄膜-基底系统中的位错环进行计算，以证明所提出的半解析方法的计算效率。然后，分析了Cu-Nb薄膜-基底系统中Cu薄膜和Nb基底内位错环的弹性场。最后，研究了薄膜厚度、环位置对位错环弹性场的影响，发现这两个因素对位错环弹性场有显著影响。